두가지 종류의 진공제어 장치
진공제어를 함에 있어 다양한 종류의 밸브들이 존재합니다.
Vacuum Regulator와 Vacuum Breaker는 많이 사용되는 진공제어 장치입니다.
이번 글을 통해서 두가지 장치의 작동원리와 차이점에 대해 알아보고자 합니다.
첫번째, Vacuum Regulator
Equilibar Vacuum Regulator(EVR)와 같은 진공제어 장치는 프로세스 진공을 제어하기 위해 진공 펌프와 공정 사이의 흐름을 조절하여 작동합니다. 이 유형은 제어되는 압력이 입구 포트에 있기 때문에 사실상 백프레셔 레귤레이터 입니다. 레귤레이터가 닫히며 프로세스의 진공을 낮춥니다.
오른쪽의 단순화된 예를 통해 진공레귤레이터의 작동원리에 대해 살펴보겠습니다. 진공 레귤레이터는 스프링이 장착된 다이어프램을 사용하여 진공 압력을 제어합니다. 프로세스 진공은 다이어프램의 아래쪽에 있고 대기압은 위쪽에 있습니다. 프로세스 진공에 대응하여 사용자가 원하는 진공도를 얻기 위해 스프링이 위로 당겨지고 있습니다. 프로세스 압력이 너무 낮아지면(진공이 너무 강해짐) 다이어프램이 낮아지고 프로세스와 진공 공급 펌프 사이의 가스 흐름이 제한되어 진공 수준이 감소합니다. 절대 압력이 설정점 이상으로 증가하면(진공이 너무 낮음) 플런저가 상승하고 공정과 공급 펌프 사이의 가스 흐름이 증가하여 진공 수준이 증가합니다.
두번째, Vacuum Breaker
다른 유형의 진공제어 장치는 주변 공기를 진공 시스템으로 유입시켜 진공 압력을 제어합니다. 이러한 유형의 레귤레이터는 종종 Vacuum Breaker 또는 Vacuum Relief Regulator 라고 합니다. 이 진공제어 장치는 제어되는 압력이 출구 포트에 있기 때문에 실제로 감압 레귤레이터의 한 유형입니다. 이 장치는 진공 수준을 낮추기 위해 열립니다.
Vacuum Breaker는 일반적으로 위쪽에 대기압이 있는 스프링 장착 다이어프램을 사용하고 아래쪽에 프로세스 진공 압력을 사용합니다. 위의 이 단순화된 예에서 스프링은 실제로 다이어프램을 위로 당겨 사용자의 설정값에 해당하는 압력을 제공합니다. 프로세스 압력이 너무 낮아지면(진공이 너무 높음) 플런저가 밸브 시트를 강제로 내리게 하여 더 많은 외부 공기가 공정으로 유입되도록 합니다. 프로세스 압력이 설정점을 향해 증가하면(진공 압력이 증가) 플런저가 다시 상승하여 공기 유입을 제한합니다.
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