정밀 진공 제어를 위한 최적 솔루션 – Equilibar 진공 레귤레이터(EVR)
산업 현장에서 진공(Vacuum)은 다양한 목적의 공정 제어 및 제품 핸들링에 널리 사용됩니다. 특히 진공 테이블, 진공 컨베이어, 진공 픽 앤 플레이스(Pick & Place) 시스템 등에서는 안정적인 진공 압력 유지를 통해 제품의 품질을 보호하고, 민감한 소재의 손상을 방지해야 합니다.
이러한 고정밀 진공 제어가 필요한 분야에서는 Equilibar® 진공 레귤레이터(EVR)가 탁월한 성능을 제공합니다.
✅ 진공 고정(Workholding) 시스템의 고질적인 문제점 : 압력 변동 & 품질 저하
진공을 이용한 고정(Workholding) 시스템에서는 다음과 같은 문제가 자주 발생합니다:
- 공정 시작 또는 일시 중단 시 압력 및 유량의 급격한 변화
- 기공 수의 변화로 인한 진공 압력 불안정
- 압력 변동으로 인한 제품 흡착력 변화 및 품질 문제
일부 공정은 이러한 압력 변화에 민감하지 않을 수 있으나, 반도체, 전자회로 기판, 연성 식품 처리 등 고정밀 산업에서는 진공 압력의 정밀 제어가 반드시 필요합니다.
🌟 적용 사례 ① – 진공 테이블(Vacuum Table) 제어
✅ 설치 예시: EVR은 진공 펌프와 공정 사이에 설치되어, 유량을 조절함으로써 테이블의 진공 압력을 일정하게 유지합니다.
진공 테이블은 특히 실리콘 웨이퍼나 얇은 멤브레인을 사용하는 공정에서 압력 제어 난이도가 높습니다. 테이블 위에 부착되는 부품 수나 위치에 따라 유량이 수시로 바뀌면서 진공 압력이 흔들릴 수 있습니다.
이 경우, 흡착력이 갑자기 강해지거나 약해져서 민감한 부품이 손상될 수 있습니다.
📌 EVR 진공 레귤레이터는 이러한 변동에 즉각 반응하여, 테이블의 진공 압력을 일정하게 유지함으로써 공정의 품질과 안정성을 보장합니다.
심지어 유량이 100:1 비율로 바뀌는 상황에서도 안정적인 제어가 가능합니다.
🌟 적용 사례 ② – 진공 픽 앤 플레이스(Pick and Place)
픽 앤 플레이스 공정에서는 빠르고 민첩한 진공 제어가 필수입니다. 다양한 모듈이 온·오프 되면서 유량이 변할 때, 일반적인 레귤레이터로는 진공 압력 설정값(setpoint) 유지가 어렵습니다.
EVR은 다음과 같은 강점을 가집니다:
- 설정한 진공 압력 도달 속도 빠름
- 공정 변화 중에도 진공 압력 일정 유지
- 흡착 미스 또는 오작동 발생 시에도 시스템 압력 안정화
특히 반도체 및 회로 기판 제조 공정에서는 각각의 작업 모듈마다 다른 진공 설정값이 필요합니다. 이때, EVR을 각 모듈별로 설치하면, 중앙 진공 시스템에 영향을 받지 않고 각 공정의 압력을 정밀하게 개별 제어할 수 있습니다.
🔄 더욱 정밀한 제어가 필요한 경우: 클로즈드 루프(Closed-loop) 제어
일부 민감한 공정에서는 수 cmH₂O(수인치)의 정밀한 진공 제어가 필요합니다. 이 경우, 클로즈드 루프 제어 방식을 활용하면 EVR의 성능을 더욱 향상시킬 수 있습니다.
📌 클로즈드 루프 제어의 이점:
- 진공 센싱 지점을 공정 지점에 가깝게 설정 가능 → 테이블 또는 챔버 내부 압력을 직접 제어
- 정밀도와 응답성이 향상됨 → 라인 손실이나 제약이 있어도 정확한 압력 유지 가능
Equilibar는 전자식 또는 수동식 파일럿 레귤레이터와 함께 사용할 수 있어, 원격 압력 제어 및 피드백 기반 제어가 가능합니다.
EVR 전자식/수동식 진공 레귤레이터 작동원리와 제품 특징 알아보기
🎯 진공 제어의 수준을 한 단계 끌어올리세요
Equilibar 진공 레귤레이터는 일반적인 기계식 레귤레이터와는 달리, 다공 정밀 오리피스를 사용하여 압력을 정밀하게 제어하며, 빠른 응답성과 뛰어난 유량 처리 능력을 자랑합니다.
반도체, 전자부품, 의료기기, 정밀식품, 연구실 등 정밀 진공 제어가 핵심이 되는 분야에서 EVR은 생산성 향상과 품질 안정화를 동시에 실현할 수 있는 최적의 솔루션입니다.
진공 제어 시스템에 적용 가능한 전자식 혹은 수동식 진공 레귤레이터 관련하여 문의사항이 있으시면 언제든 연락 주세요.
